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填补国内空白!首条先进半导体复合衬底产线通线
2024/2/27 | 共 2417 次 阅读
 来源:科创板日报


国内首条先进半导体复合衬底产线通线!键合集成衬底产线的通线,填补了国内空白,有效解决了国内先进半导体复合衬底材料卡脖子问题。

 

解决先进半导体复合衬底材料卡脖子问题

 

青禾晶元创始人母凤文从读博士到现在,在先进半导体复合衬底领域已有10年研究时间。与大多数专家级别的创业团队一样,母凤文博士创业前在日本读博,毕业之后一直跟产业界有着频繁接触,过程中看到日本产业公司对技术和创新的追求,受到影响决心回国创业。


只要技术突破,产能迅速释放,公司就能快速进入发展通道。目前国内市场对于先进半导体复合衬底材料,特别是碳化硅的需求供不应求;应用领域上,新能源汽车、光伏、电力传输等领域有较大市场。

 

首期产能规模3万片,未来聚焦8英寸衬底

 

首条先进半导体复合衬底产线的投产,规模3万片,未来计划达到15万片。衬底尺寸目前以6英寸为主,未来会转到8英寸。


母凤文博士的信心来源于技术的成熟和低成本化。以碳化硅举例,国内获得材料的主要方式,还是长晶法。但这种方式高耗能,需要达到2000度才能把材料出来。最重要的是,长晶工艺稳定性不强、良品率低,使得高质量碳化硅材料获得较少,价格昂贵。


青禾晶元之所以快速投产,核心是技术创新驱动。公司利用复合原理,把高低质量的衬底材料进行结合,在充分利用高质量材料的同时,也把低质量材料利用起来,这一方法有效地降低了材料成本,保证高性能、低成本衬底材料的供给。母凤文博士表示。


通过每一层材料的单独制作以及最后调控,青禾晶元攻克了材料获得上的难题,从最终产品看,复合衬底可以做到性能更优,成本更低,良品率更高。至于从6英寸到8英寸衬底,母凤文博士非常有信心:如果是长晶法,8英寸难度是几何级别。但采用复合法,从6英寸到8英工艺相通,只是对机台的调整。且不涉及温度影响,很多工艺在常温下完成。

 

量产降低成本

 

首条产线量产只是第一步,下一步会积极打磨每一个环节,包括供应链环节,把整体成本进一步降低。未来随着产品的规模化,也希望给到客户更好价格。复合衬底材料行业发展的关键是技术创新,一旦技术打通,建产线产能是自然而然的事。在下游需求旺盛的背景下,产能起量也将非常快,公司前进方向明确。截至目前,青禾晶元投产的首条先进半导体复合衬底产线,在创业公司中跑在前列。

 

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