来源:半导体前沿
镓仁表示,基于上述成果,镓仁也成为了国内首个掌握6英寸氧化镓单晶衬底制备技术的产业化公司。 据介绍,此次制备6英寸氧化镓衬底采用的铸造法,具有以下显著优势:一是铸造法成本低,由于贵金属Ir的用量及损耗相比其他方法大幅减少,成本显著降低;二是铸造法简单可控,其工艺流程短、效率高、尺寸易放大;三是铸造法拥有完全自主知识产权,中国和美国专利已授权,为突破国外技术垄断,实现国产化替代奠定坚实基础。 虽然碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)一直是商用器件中占主导地位的宽带隙半导体,但是超宽带隙(UWBG)β 相氧化镓(β-Ga2O3)正逐渐成为下一代大功率和射频电子器件的材料,称之为第四代半导体材料。与第三代半导体碳化硅、氮化镓相比,氧化镓的禁带宽度达到了4.9eV,高于碳化硅的3.2eV和氮化镓的3.39eV,更宽的禁带宽度意味着电子需要更多的能量从价带跃迁到导带,因此氧化镓具有耐高压、耐高温、大功率、抗辐照等特性。并且,在同等规格下,宽禁带材料可以制造die size更小、功率密度更高的器件,节省配套散热和晶圆面积,进一步降低成本。
*声明:本文系原作者创作。文章内容系其个人观点,我方转载仅为分享与讨论,不代表我方赞成或认同,如有异议,请联系后台。 |
版权所有 本站内容未经书面许可,禁止一切形式的转载。© Copyright 2017 无锡卓海科技股份有限公司 版权所有. All rights reserved. | 苏ICP备10225498号 |
建议您使用IE8.0及以上版本浏览器登陆本站点。